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Zygo 8010-0105-02 ZMI-501 位移测量干涉仪组件
- 品牌：Zygo
- 型号：8010-0105-02 ZMI-501
- 发货时间：3-5天
- 质保：365天
- 联系人：肖小姐
- 电话：15359021002（VX同号）
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产品详情
Zygo的8010-0105-02 ZMI-501是一款位移测量干涉仪的组件或激光器，以下是对其的详细介绍：
一、品牌与型号
- 品牌：Zygo
- 型号：8010-0105-02 ZMI-501
二、产品特性
高精度测量：
- ZMI-501作为干涉仪的关键组件，能够提供高精度的位移测量。
- 具体测量精度和分辨率可能因配置和应用场景而异，但通常能达到亚纳米级或更高的精度。
激光驱动：
- 该干涉仪采用激光源进行驱动，激光具有高单色性、高亮度和高相干性，为干涉测量提供了稳定的光源。
模块化设计：
- Zygo的干涉仪系统通常采用模块化设计，便于用户根据需求进行配置和扩展。
- ZMI-501可能作为其中的一个模块，与其他模块（如测量板、控制器等）配合使用，共同实现位移测量功能。
广泛应用：
- ZMI-501干涉仪可用于各种需要高精度位移测量的领域，如半导体制造、光学元件检测、精密机械加工等。
三、技术规格（示例）
请注意，以下技术规格可能因具体产品批次或配置而有所不同，这里仅提供一个大致的参考：
- 激光波长：可能采用特定的激光波长（如632.8nm等），以匹配干涉仪的测量要求。
- 测量范围：根据具体配置，测量范围可能有所不同，从几微米到几百毫米不等。
- 分辨率：亚纳米级或更高的分辨率，确保高精度测量。
- 重复性：高重复性，确保每次测量结果的一致性。
四、应用实例
半导体制造：
- 在半导体制造过程中，ZMI-501干涉仪可用于精确测量晶圆上的图案位移，确保制造精度。
光学元件检测：
- 在光学元件（如透镜、棱镜等）的制造和检测过程中，ZMI-501可用于测量元件表面的微小位移，确保元件质量。
精密机械加工：
- 在精密机械加工中，ZMI-501干涉仪可用于测量零件的尺寸和形状变化，确保加工精度和产品质量。
五、注意事项
使用环境：
- 请确保ZMI-501干涉仪在规定的温度和湿度范围内使用，以避免环境因素对测量结果的影响。
校准与维护：
- 定期对干涉仪进行校准和维护，以确保其长期稳定运行和高精度测量。
安全操作：
- 在操作过程中，请遵循产品手册中的安全操作指南，确保人身安全和设备安全。
综上所述，Zygo的8010-0105-02 ZMI-501是一款高精度、激光驱动的位移测量干涉仪组件或激光器，具有广泛的应用领域和优异的技术性能。
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