SCHUMACHER舒马赫 ATCS-15 1464-0320系统由电源杯组件和电源模块组成
VaporGuard®系统由电源杯组件和电源模块组成以及一个可选的远程显示模块。这种模块化设计允许Source Cup
将组件安装在危险位置(1级,2类)。电源模块将位于Class1,Division 2位置之外仍然提供与在本地安装时相同的控
制。第1类第2类(危险)场所的建立基于设备在其正常操作条件下,不能引起指定的易燃气体、空气混合物中的蒸汽、
灰尘或纤维。
对于每种类型的工艺工具中使用的直接向工艺提供化学品的源容器,没有行业标准术语。术语安瓿,
起泡器、源容器和其他容器在工业中都可以互换使用。到减少混淆,在本手册中,术语Bubbler用于识别Versum
Materials,Inc.(Schumacher)石英容器(聚四氟乙烯系统)或不锈钢钢源容器(不锈钢系统)。
SCHUMACHER舒马赫 ATCS-15 1464-0320系统由电源杯组件和电源模块组成
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