系统介绍
静电驱动具有功耗低、响应时间短、适用于高频驱动、结构易于实现等特点,因此被广泛应用于微型变形镜、微型光谱仪、微型陀螺仪、微型谐振器等MEMS器件中. 然而,静电执行器的使用往往需要非常高的恒压电源,因此可以设计高压控制系统来满足驱动要求,使得微机械传感器的器件得到广泛应用
高压控制系统主要实现以下功能:
1、通讯功能:通过USB模块实现微机械传感器与上位机程序之间的数据传输。
2、控制功能:数字信号处理模块根据传输数据控制转换器输出静电驱动所需的电压。
3、放大功能:同步放大电压以满足静电驱动要求。
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